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第八百九十五章 湿法蚀刻（第1页）

“这是你们设计的方案？”

王中军将手里的文件翻的哗哗作响，边看边忍不住皱起了眉头来。

“用腐蚀剂的各向同性来制作探针，你们考虑过这里面的工作量吗？”

“使用可控制侵蚀速度的硝酸和氢氟酸，我们计算过可能的配比，至少要做上千组实验。”

钟大华的声音没有多少波动，昨晚吴牧提出这个思路之后，他们俩就已经通过代理公司搜集了相关的信息，但情况却有些出人意料。

在美国的数据库里，并没有与这个思路相关的技术。

事实上从八十年代起，湿法蚀刻在美国就已经属于落后技术了。

随着制程技术的提高，现在业界主流已经是干法蚀刻更胜一筹，因为干法蚀刻的各向异性更好，芯片的成品率自然更高。

也就是说在湿法蚀刻这个路线上，业界并没有走到尽头就更换了路线。

美国人技术比较先进，八十年代之后制程技术发展到微米级，为了克服湿法蚀刻的缺点，应用材料公司直接推出了干法蚀刻的PVD技术，干脆另开炉灶了！

干法蚀刻是用等离子体直接撞击晶圆，从化学反应变成了物理反应，干脆没有各向同性的问题了。

当然，后来干法蚀刻的物理性蚀刻也不能满足需求，于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。

但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后，在PECVD基础上搞的湿法蚀刻。

各向异性的问题，早在八十年代美国人就解决了。

如今钟大华和吴牧想要走回头路，其实是挑了一条充满荆棘的小路在走。

想要参考、借鉴，可根本就没有先例可循。

这样一来，难免让人有些心理打鼓了。

不过钟大华脸上根本看不出怀疑和忐忑，面对上千组实验需要的工作量，仿佛就像在说下班去哪里买菜一样。

“上千组实验？我看可不够！”

王中军摇了摇头，哼了一声：“这是你们计算配比和时间控制需要的实验数量，但是你想过没有，我们要的不是一根普通的针尖，而是一根50纳米宽的针尖！

除了时间、配比以外，甚至一丁点微弱的空气流动，都能让你的实验结果出现偏差。

除此之外，温度、湿度、空气杂质，这些还是能想到的干扰，真正做实验的时候，你会发现更多想都没想过的干扰源会出现……这些都必须一一排除，一千组实验你能保证出结果吗？”

“我保证……不了。”

钟大华的声音仍然没有起伏，冷静的说道：“但硅探针本来就没有先例，甚至是原子力显微镜探针，我们自己都还不能生产。

可这个项目只给了我们两个月时间，根本没有按部就班实现的可能。”

“说实话，我认为吴牧这个思路简直是为我们量身定做。

湿法蚀刻做探针虽然没有成熟技术可以借鉴，但各种腐蚀剂的性能数据还是很丰富的。

这个思路最大的优势，就是不需要过往的基础，非常适合技术跳跃式发展。

不管是亚微米还是微纳米，50纳米甚至是10纳米，甚至有一天1纳米的探针，只需要加大投入就一定能摸索出实现的参数。”

“我承认我们有赌的成分。”

“这个路线成功了，我们可以抛开当前的技术路线，走一条完全不同的纳米光栅制造体系。”